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高流量應(yīng)用型超高純度閥,ALD20 系列

高流量應(yīng)用型超高純度閥,ALD20 系列

簡要描述:新型 ALD20 超高純閥專為突破原子層沉積閥技術(shù)的極限而設(shè)計(jì),從而使流量達(dá)到使用現(xiàn)有 ALD 閥所能達(dá)到的兩到三倍。該閥門使半導(dǎo)體芯片制造商不僅具有增加產(chǎn)量和提高效率的潛力,而且還可以在不顯著改變工藝的情況下做到這一點(diǎn)。

ALD20 可以在與現(xiàn)有 ALD 閥相同的占用空間 (1.5 in.) 中提供 1.2 Cv 的流量,從而無需改裝現(xiàn)有設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)更高的性能
第二款標(biāo)準(zhǔn) ALD20 閥類型具

產(chǎn)品型號(hào):

所屬分類:閥門

更新時(shí)間:2025-02-28

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

詳情介紹

ALD20 提供了客戶對(duì)世偉洛克超高純 ALD 閥所期望的可靠性和性能,同時(shí)還帶來了先前無法實(shí)現(xiàn)的溫度穩(wěn)定性和流量可能性。這款閥門使制造商能夠試驗(yàn)不同的工藝和低蒸汽壓化學(xué)品,以實(shí)現(xiàn)當(dāng)今和未來開發(fā)先進(jìn)技術(shù)所需的均勻氣體沉積。


新型 ALD20 超高純閥專為突破原子層沉積閥技術(shù)的極限而設(shè)計(jì),從而使流量達(dá)到使用現(xiàn)有 ALD 閥所能達(dá)到的兩到三倍。該閥門使半導(dǎo)體芯片制造商不僅具有增加產(chǎn)量和提高效率的潛力,而且還可以在不顯著改變工藝的情況下做到這一點(diǎn)。

  • ALD20 可以在與現(xiàn)有 ALD 閥相同的占用空間 (1.5 in.) 中提供 1.2 Cv 的流量,從而無需改裝現(xiàn)有設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)更高的性能

  • 第二款標(biāo)準(zhǔn) ALD20 閥類型具有稍大的占用空間寬度 (1.75 in.),可產(chǎn)生更高的 1.7 流量系數(shù) — 這也是超高循環(huán)壽命超高純閥目前所能提供的最高流量

  • 還可提供定制的流量系數(shù)

ALD20 的設(shè)計(jì)能夠在超高循環(huán)壽命中促進(jìn)一致的操作性能得益于以下幾項(xiàng)主要特點(diǎn):


  • 整個(gè)閥門和執(zhí)行機(jī)構(gòu)均可浸入 50°F (10°C) 至 392°F (200°C) 的氣箱中,從而無需在加熱期間隔離執(zhí)行機(jī)構(gòu)。因此,低蒸汽壓氣體保持在有利于理想流量的溫度下,沉積一致性得以改善

  • 316L VIM-VAR 不銹鋼或合金 22 閥體材料選項(xiàng)具有增強(qiáng)的耐腐蝕性,可承受腐蝕性日趨嚴(yán)重的介質(zhì)

  • 擁有 5 μin. Ra 表面處理的高度拋光型波紋管支持在超高循環(huán)壽命的工藝中進(jìn)行清潔操作,以實(shí)現(xiàn)工藝完整性

  • 氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)高速 (<10 ms) 且可重復(fù)的啟動(dòng),以實(shí)現(xiàn)精確而一致的流量,從而滿足計(jì)量要求。

規(guī)格

工作壓力真空至 20 psig (1.4 bar)
爆裂壓力>3200 psig (220 bar)
執(zhí)行壓力70 至 90 psig(4.8 至 6.2 bar)
溫度50° 至 392°F(10° 至 200°C)
流量系數(shù) (Cv)1.2 (MSM)  1.7(直通型)
閥體材料316L VIM-VAR 或合金 22
波紋管材料合金 22(5 μin. Ra 表面處理)
端接
類型(尺寸)內(nèi)螺紋 VCR® 接頭 (1/2 in.)
可旋轉(zhuǎn)外螺紋 VCR 接頭 (1/2 in.)
卡套管對(duì)焊,長度 0.50 in. (1/2 in. x 0.049 in.)
模塊化表面安裝高流量 C 型密封 (1.5 in.)





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